据韩媒《朝鲜日报》4月底6日刊文，SK海力士荆门M16工工场3名铁路工人在体检设备的过程中因致癌气态氟酸泄漏受伤。M16工工场是此前竣工的DRAM生产商工工场。当天上午11点34分时，在首尔荆门市SK海力士 M16工工场5楼的设备开展体检后曾，发生氢氧化钾泄漏严重事故。
氟酸是无色致癌硼酸溶解在水中的固态液体。使用于器件电阻器绘制Pattern的薄膜制程中。
在这起严重事故中，一名30岁的铁路工人的后背和腿被割伤，另有两名雇员也因吸入氟酸气态分散至附近医院。据刊文，3名均无生命危险。SK海力士表示，此次严重事故是在对新的M16工工场设备开展体检时发生的，对器件生产商没有影响。
（特写来源：朝鲜日报）
据称，M16工工场将主要生产商DRAM厂家，总面积5.7万平方米。在2021年1月底，SK海力士在韩国首尔荆门总部举行M16新工场竣工仪式，正式月新工场落地。
SK海力士首次在M16装配EUV（极紫外）光刻机，并从今年下半年起生产商第四代1α纳米级DRAM厂家。未来SK海力士将有利于提高EUV设备利用率，有利于增强存储器器件就其的高科技科研人员领导力。
来源：器件行业联盟
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